1.針對于對等離子體處理有嚴苛要求的場合中使用,等離子源才用頻率為13.56MHz射頻發生器,兼顧物理反應和化學反應
2. 采用500W功率電源,自動阻抗匹配,高功率射頻發生器可應對各種實驗要求,保障高能量密度和高處理效率
3. 高精度真空度控制,適應各種處理需求
4. 316不銹鋼腔體(或者6061鋁合金),全不銹鋼管路和連接件,適用各種氣體(包含腐蝕性氣體)
5. 4.3寸工業級觸摸屏,軟件操作方便,多種參數設置和工藝組合處理模式
6. 可增加多種配件,涂覆鍍膜,電極溫度控制,等離子體強度控制,等離子體化學反應等功能(如有特殊應用,請咨詢銷售人員)
根據用戶需求,提供對應等離子體處理方案和定制特殊用途設備