? 13.56MHz射頻電源與自動匹配系統,具有優異的穩定性與可重復性
? 靈活的電極結構設置與優化的氣體饋入、分布方案,確保大批量處理的均勻性
? PLC與工控機提供穩定的過程控制,設備運行的實時參數通過顯示屏直觀呈現
? 系統穩定可靠,易于保養與維護
標準腔體電極為平行板電極結構,通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果
最多支持擴展至8片電極
每對電極間為獨立空間
批處理電極改變了標準的平行板電極結構
通過優化的電場和進氣設計實現對magazi和boat等載具內產品的均勻處理。